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圖書(shū)簡(jiǎn)介

本書(shū)是The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication 的第三版。本書(shū)系統(tǒng)地介紹了微電子制造科學(xué)原理與工程技術(shù)，覆蓋了集成電路制造所涉及的所有基本單項(xiàng)工藝，包括光刻、等離子體和反應(yīng)離子刻蝕、離子注入、擴(kuò)散、氧化、蒸發(fā)、氣相外延生長(zhǎng)、濺射和化學(xué)氣相淀積等。本書(shū)新增加的內(nèi)容包括原子層淀積、電鍍銅、浸潤(rùn)式光刻、納米壓印與軟光刻、薄膜器件、有機(jī)發(fā)光二極管以及應(yīng)變技術(shù)在CMOS 工藝中的應(yīng)用等，對(duì)于其他已經(jīng)過(guò)時(shí)的或不再具有先進(jìn)性的題材則做了適當(dāng)?shù)暮?jiǎn)化或刪除處理。
本書(shū)可作為高等學(xué)校微電子專業(yè)本科生和研究生相應(yīng)課程的教科書(shū)或參考書(shū)，也可供與集成電路制造工藝技術(shù)有關(guān)的專業(yè)技術(shù)人員學(xué)習(xí)參考。
目錄
斯蒂芬A·坎貝爾：明尼蘇達(dá)大學(xué)電子與計(jì)算機(jī)工程系的教授，該校技術(shù)研究院的杰出教授，同時(shí)兼任該校納米制造中心和納米結(jié)構(gòu)應(yīng)用中心的主任。無(wú)論是在學(xué)術(shù)界還是在工業(yè)界，他在微電子工藝制造領(lǐng)域都有著廣泛的經(jīng)驗(yàn)。他目前的研究領(lǐng)域包括半導(dǎo)體納米顆粒在高性能電子器件與

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