半導(dǎo)體測試技術(shù)原理與應(yīng)用 劉新福//杜占平//李為民 ..

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    電子通信培..
  • 作者:
  • 出版社:
  • ISBN:9787502441012
  • 出版日期:
  • 原價(jià):
    ¥28.00元
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品牌:圖書
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商品名稱:  半導(dǎo)體測試技術(shù)原理與應(yīng)用
作者:  劉新福//杜占平//李為民
市場價(jià):  28元
文軒網(wǎng)價(jià):   23元【82折】
ISBN號:  9787502441012
出版社:  冶金工業(yè)出版社
商品類型:  圖書

  其他參考信息(以實(shí)物為準(zhǔn))
  裝幀:  開本:32開  語種:
  出版時(shí)間:2006-11-01  版次:  頁數(shù):
  印刷時(shí)間:2007-01-01  印次:  字?jǐn)?shù):
  溫馨提示:出版時(shí)間超過3年的圖書,因長時(shí)間儲存可能會產(chǎn)生紙張缺陷,敬請諒解!

   內(nèi)容簡介
    全書共11章。第1章對半導(dǎo)體微區(qū)電阻測量技術(shù)的各種方法進(jìn)行了分析比較,對國內(nèi)外薄層電阻測試方法進(jìn)行綜述;第2章是四探針技術(shù)測量薄層電阻原理的分析,對常規(guī)直線四探針法、改進(jìn)的范德堡法和斜置式方形Rymaszewski四探針法分別進(jìn)行了詳細(xì)論述;第3章深入地討論了四探針測試技術(shù)中的共性問題,重點(diǎn)對測試設(shè)備的校準(zhǔn)及環(huán)境對測量的影響,以及對四探針測試中的邊緣修正問題進(jìn)行了論述;第4章論述了本課題組開發(fā)的自動測量四探針儀測控系統(tǒng);第5章論述游移對測試結(jié)果的影響及測量薄層電阻的改進(jìn)Rymaszewski方法;第6、7章分別論述探針圖像預(yù)處理、邊緣檢測以及探針的圖像分割、定位控制與探針圖像檢測精度分析;第8章對電阻率的無接觸測量技術(shù)及自主研制的薄層電阻自動測試儀器進(jìn)行了分析與介紹;第9章討論了高電阻率材料的電學(xué)參數(shù)測量問題;第10章論述了掃描電子顯微鏡及其在半導(dǎo)體測試技術(shù)中的應(yīng)用;第11章介紹了外延片的物理測試原理。

   目錄
1 半導(dǎo)體微區(qū)電阻測量技術(shù)2 四探針技術(shù)測量薄層電阻的原理分析3 四探針測試技術(shù)中的共性問題4 四探針儀測控系統(tǒng)及其實(shí)現(xiàn)5 游移對測試結(jié)果的影響及測量薄層電阻的改進(jìn)Rymaszewski方法6 探針圖像預(yù)處理及邊緣檢測7 探針的圖像分割、定位控制與檢測精度分析8 電阻率的無接觸測量及自動測試技術(shù)9 高是阻率材料的電學(xué)參數(shù)測量10 掃描電子顯微鏡及其在半導(dǎo)體測試技術(shù)中的應(yīng)用11 外延片的物理測試參考文獻(xiàn)


目錄

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