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圖書簡(jiǎn)介

     由李可為主編的《集成電路芯片制造工藝技術(shù)》內(nèi)容介紹：進(jìn)入21世紀(jì)，隨著人類對(duì)集成電路的深入認(rèn)識(shí)和廣泛應(yīng)用，不僅帶來(lái)了世界經(jīng)濟(jì)與技術(shù)的飛速發(fā)展，而且也帶來(lái)了整個(gè)社會(huì)的深刻變革，它日益改變著人們的生活方式和交流方式，使人類進(jìn)入了一個(gè)新的信息化文明時(shí)代。大到飛入太空的“宇宙飛船”，小到我們身邊的電子手表，里面都有集成電路。

目錄

     由李可為主編的《集成電路芯片制造工藝技術(shù)》主要講述集成電路芯片制造工藝技術(shù)，主要有13章，內(nèi)容包括集成電路芯片制造工藝概述、氧化技術(shù)、擴(kuò)散技術(shù)、光刻技術(shù)、刻蝕、離子注入、化學(xué)氣相淀積、金屬化、表面鈍化、電學(xué)隔離技術(shù)、集成電路制造工藝流程、缺陷控制、真空與設(shè)備等內(nèi)容。附錄一中還介紹了硅材料基礎(chǔ)知識(shí)和硅材料的制備，附錄二給出了Fab廠常用術(shù)語(yǔ)的中英文對(duì)照。 《集成電路芯片制造工藝技術(shù)》力求在技術(shù)體系合理完整的基礎(chǔ)上，使內(nèi)容由淺人深，從制造技術(shù)的原理出發(fā)，緊密地聯(lián)系生產(chǎn)實(shí)際，方便讀者理解這些原本復(fù)雜的工藝和流程�！都�成電路芯片制造工藝技術(shù)》可作為高職高專院校微電子技術(shù)及相關(guān)專業(yè)的教學(xué)用書，也可作為工程技術(shù)人員的參考用書。

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